北京理工大学2026年10至12月政府采购意向

A02100399其他光学仪器

1.系统组成： （1）温控防尘罩； （2）大理石花岗岩机座及气浮防震装置； （3）515nm高重频飞秒激光精密光路传输系统：重复频率≥1MHz、波长515nm、最大单脉冲能量≥200uJ、脉冲宽度≤300fs； （4）自动聚焦系统：对焦精度≤1/4DOF、对焦重复性≤1/3DOF、对焦速度≥100ms/次； （5）声光电调制模块： 声光偏转器：工作波长515nm、调制时间≤1μs/mm、衍射效率≥50％、通光孔径＞7.5x7.5mm2；电光调器：工作波长515nm、通光孔径Φ≥3mm、调制速率≥100KHz； （6）***平台系统：工作台行程≥300mm、最大速度≥0.4m/s、最大加速度：1m/s2、重复精度≤±0.1um、定位精度<1um，套刻误差≤300nm； （7）同轴 LED 照明、CCD 相机、高数值孔径聚焦物镜电动物镜切换器； （8）控制电脑及数据转换计算机及数据转换软件。 用于硅、锗、相变材料等半导体平面材料的改性光刻。 2.有效光刻面积: 200 × 200 mm2 ，可接受基材厚度: 0 ~ 12 毫米，直写线宽精度优于1μm，单光束微区偏转-能量调制同步控制速率≥100K，偏转精度优于100nm，相邻区域拼接精度优于100nm。

A02100305电子光学及离子光学仪器

高NA低温离子阱综合测试与量子操控系统，1套

A02100309激光仪器

放大级 中心输出波长：1030nm±10nm；最大平均功率：20W；基频光最短脉冲宽度：≤290 fs； 脉冲宽度可调谐：290fs-10ps；重复频率：1-1MHz 可调； 单脉冲能量：400uJ ；光束质量：TEM00;M2<1.2 脉冲能量稳定性：<0.5% over 24h长时间功率稳定性：<0.3% over 100h 包含分体式二倍频输出，转换效率>50%包含电动分光镜 振荡级 与放大级集成一体，最大输出功率：7 W 脉冲宽度：＜120 fs 重复频率：~76 MHz 最大单脉冲能量：~92 nJ 中心波长：1035 ± 10 nm 偏振：线偏振，水平方向 光束质量 M2：＜1.2 光束指向稳定性：＜10 μrad/℃ 100 小时长期功率稳定性：＜0.5% 包含电动分光镜 包含分体式二倍频模块，支持 4W 振荡级输入，输出 1.4W@515nm

A02059900其他机械设备

多脉宽纳-皮-飞秒激光三维内部加工装备，1台 超快激光：中心波长1030nm±10nm；脉宽≤ 290fs；≤ 290fs；单脉冲能量≥ 400uj 纳秒激光：中心波长 1064nm；脉宽1-10ns 连续可调；激光触发抖动误差 ≤ 35ps ；调制步距 ≤ 10ps 空间整形：≥ 1272*1024；阈值>30W 精密电动位移台：移动行程XYZ ≥ 250x250x20 mm；重复精度：≤+/-0.2um；XY平面度/直线度 ≤±1um；最小位移量XYZ≤0.02um；最大速度 XY≥200mm/s,Z≥10mm/s；支持双轴PSO 激光聚焦照明模块：支持可见/红外光源照明，可见/近红外成像，电动物镜切换器, ****中心偏差 ≤±1um，标配95mm齐焦, 适用波长包括500-1600nm。 10X NIR物镜 NA≥0.28, WD≥ 33mm；20X NIR物镜, NA≥0.45, WD≥ 20mm；50X VIS-NIR物镜, NA≥0.65, WD≥ 10mm；100X VIS-NIR物镜, NA≥0.7, WD≥ 6mm；聚焦光斑尺寸 ≤ 2um ；@ 50X 物镜下 1550nm 激光自动追焦：波长650nm；对焦精度<=±1/4当前物镜景深；可控制全闭环 设备所有核心部件（激光器、聚焦加工头、大理石基座、气浮底座、电控系统、光路系统等）全部集成封装于一体化设备外壳内部，整机为封闭式整体结构，无外露核心精密部件。 一体化界面控制激光器、视觉模块、物镜切换、精密位移台、电动衰减等。支持时序控制可实现激光器多光源互作用过程时域调节。支持XY PSO加工

A02100309激光仪器

在复杂精密构件的增等减材制造中，需要集成高重频大功率超快激光光源实现灵活多变的加工工艺，克服难加工材料和结构的质量和精度瓶颈。所需要的超快激光器主要参数：总功率>100W、功率稳定性<1%、光束质量M<1.3，可以实现多种重频、脉宽模式的灵活切换，具备长时间高稳定大功率加工能力。