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基本信息：
| 申购主题： | HCD450沉积系统 |
| 送货时间： | 合同签订后7天内送达 |
| 报价要求： | 国产含税 |
| 项目要求： | 免费上门安装（含材料费） |
| 发票类型： | 增值税专用发票 |
| 付款方式： | 货到验收合格后付款 |
| 收货地址： | 天津市/市辖区/津南区/**** |
| 备注说明： | 2607004917 |
采购明细：
| 序号 | 设备名称 | 数量/单位 | 预算单价 | 品牌 | 型号 | 规格参数 | 质保及售后服务 | 附件 |
| 1 | HCD450沉积系统 | 1.0（台（套）） | （人民币） | 北京捷造（本地化售后服务） | HCD450-600 | 极限压力： ≤8×10-5Pa 2 工作压力： 0.2 Pa～0.8Pa 3 真空室升压率： ≤0.8Pa/h 4 工件尺寸： ≤156×156（mm） 5 薄膜均匀性： 直径Φ100mm范围内薄膜均匀性≤±5%；直径Φ200mm范围内薄膜均匀性≤±10% 6 真空室模块： 6.1水冷不锈钢真空室，内腔体约450x510x600mm（WxLxH）（mm），真空腔室前端设置有前滑开门组件，主要由线性导轨装置，侧滑门，滑板，锁紧气缸机构和导向支撑机构等组成。并具有与标准手套箱相匹配的连接法兰，可根据需要配置相应的手套箱。真空腔室后端，通过铰链机构连接有后开门组件，后开门上设置有一套观察窗装置及手动挡板机构。 6.2真空室预留多组刀口法兰等连接附件 6.3真空室内部四周、上部分别设置有多组镜面不锈钢屏蔽板及连接附件 7 真空系统： 7.1高真空分子泵系统，配置有CF200F分子泵，CF200高真空气动插板阀，由进口旋转气缸驱动的磁流体密封的CF200气动光栏阀，进口KF40、KF16气动角阀，高真空电磁压差阀，真空管道及波纹管组件 7.2真空测量及破空系统包含：全量程冷阴极规(1)、皮拉尼复合低真空计(1)、充气阀（1）及连接件 8 机架及主机辅助动力： 机架为框架式结构，由铝型材加工组装而成。机架下方连接有可调节的支撑脚轮,便于设备的整体移动及到位支撑；冷却水系统固定在机架上。 | 按行业标准提供服务（提供本地化安装调试及售后服务） |
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本公告地址：https://www.fzzhaobiao.com/view/12104/0hxiOKEBLRKCxEZf46Rk.html
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